硅部件（部分）Si Parts シリコンパーツ

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 1 1805-221439-24 电极 8寸及以下 8 / / 单晶硅

2 1805-221470-25 电极 8寸及以下 8 / / 单晶硅

3 1805-221471-24 电极 8寸及以下 8 / / 单晶硅

4 1805-221471-25 电极 8寸及以下 8 / / 单晶硅

5 1810-224390-11 电极 8寸及以下 8 / / 单晶硅

6 1880-026696-11 电极 8寸及以下 6 / / 单晶硅

7 1880-027152-12 电极 8寸及以下 6 / / 单晶硅

8 713-027299-002 / / / SLV,ADPTR,SLIP-ON,SELFCNTR,V PEEK / /

9 713-034964-001 / / / WSHR,.417IDX1.00ODX.025THK,300MM / /

10 713-034964-002 / / / WSHR,.417IDX1.00ODX.025THK,301MM / /

11 713-034965-001 / / / PAD,R,CONF,.010THK.300MM / /

12 713-040539-001 / / / PED,LNDNG.CONF R,PEEK,F60FLEX,200MM / /

13 713-069935-003 / / / GSKT,GUARD,OUTER ELCTD / /

14 713-072792-003 / / / GSKT,GUARD,OUTER ELCTD / /

15 713-080721-001 / / / GSKT,GAS FEED,DUAL ZONE / /

16 713-088966-001 / / / GSKT,OUTER,GAS FEED,DUAL ZONE / /

17 715-011531-011 / / / 6" ELECTRODE 4400 Al

18 715-038611-002 / / / SKT,PLASMA SNSR / /

19 715-075954-003 / / / WSHR,HEX,RING,CLAMP,300MM / /

20 715-801916-008 / / / Middle chamber / /

21 715-801916-808 / / / PLT,GAS DIST,300MM,W/GRV HTR / /

22 716-003543-135 RING 先进 12 12" HOT EDGE RING FLXE DX ES 硅

23 716-008608-001 / / / LSR window(WDO,SAPPHIRE,25MM X.087) / /

24 716-008718-001 / / / NOZ,GAS INJ,8-HOLE QTZ,2300 METAL / /

25 716-012639-024 / / / NOZ,INJ,8X .055-45DEG RDL-1CTR Kiyo45 石英

26 716-013344-006 / / / RING,COVER,OUTER,GND / /

27 716-013402-003 / / / COV,H/E RING,QTZ / /

28 716-013402-053 / / / Quartz hot edge ring cover / 石英

29 716-013402-213 / / / COV,H/E RING ,QTZ / 石英

30 716-014843-300 / / / RING,WAP,QTZ,GENERIC,17.07 ID, 300MM Flex45 石英

31 716-014843-350 / / / RING,WAP,QTZGENERIC 171N,OFC / 石英

32 716-014843-353 / / / RING,WAP,QTZGENERIC 171N,OFC / 石英

33 716-017112-330 / / / RING,WAP,17.07X10THK,300MM Flex45 石英

34 716-017112-522 / / / RING,WAP,17.07X,1.4THK,30 / 石英

35 716-017112-526 / / / RING,WAP,1 7.07X1 4THK ,300MM / 石英

36 716-018468-196 / / / RING,COVER,OUTER,GND,ADJ / 石英

37 716-023013-004 RING 普通 12 SI HOT EDGE RING / 单晶硅

38 716-026652-902 / / / RING,EDGE,BOT,QTZ,200-300MM Kiyo45 石英

39 716-028454-012 盖板 / 0 / / 单晶硅/石英

40 716-031257-521 / / / RING,EDGE,TOP,QTZ,EBP,200MM Kiyo45 石英

41 716-031257-531 / / / RING,EDGE,TOP,QTZ,EBP,300MM / /

42 716-037793-213 / / / RING,BASE,ESCW/INIG TER / 石英

43 716-037793-304 / / / Quartz base ring  / 石英

44 716-038612-003 / / / PIN,PICK UP,DC BIAS,SI CARB / /

45 716-038887-001 RING 8寸及以下 8 HOT EDGE RING / 单晶硅

46 716-040737-407 / / / Quartz coupling O-ring / 石英

47 716-040737-407 / / / RING,CPLG,QTZ,W/BIAS PU,W/FLAT,300M / /

48 716-040738-127 RING 先进 12 RING，HE,W/FL,SI,SGL XTAL,17.5,ID,300MM Flex45 单晶硅

49 716-040738-42 RING 先进 12 RING，HE,WFL,SI,SGL XTAL Flex45 单晶硅

50 716-040738-427 RING / 12 RING，HE,W/FL,SI,SGL XTAL,17.5,ID,300MM Flex45 单晶硅